“要问的问题实在是太多了,一时不知道该如何下手啊!”专家们叹道,高端光刻机堪称现代光学工业之花,其制造难度之大,全世界只有少数几家公司能够制造。
按照种类可以分为接触式、接近式和投影式多种,而高端的投影式光刻机又可分为步进投影和扫描投影光刻机两种,分辨率通常七纳米至几微米之间,高端光刻机号称世界上最精密的仪器,最先进的光刻机售价都是用亿美元为单位的。
而且受制于欧美国家的技术封锁,中国就算是拿着钱也买不到,就算想尽办法克服困难预定上一两台,往往还是技术落后的产品,而且在交货的过程中还经常会因为莫名其妙的失火等原因延迟或者取消交货。
国内倒是也有厂家在进行光刻机的研发制造,但技术相对阿斯麦等欧美顶尖公司,还有不小的差距,国外已经达到四纳米的加工水平,国内拿出来的最新产品,加工精度才只有二十二纳米而已,完全无法满足需求。
“这份设计图纸所采取的模式和阿斯麦、尼康、佳能的都不一样,和我们现在研发的也不一样,虽然目前看来理论上似乎可行,可要想吃透这种模式就要花相当长的时间!就更不用说生产出样品。”
一台光刻机内部超过了8万个零件,重量为180吨,而光刻机的零件也并非一个国家就全部制作的,因为它们有的是日本的光学技术,有的是德国的机械技术;所以阿斯麦曾经放出话来,就算把设计图纸拿给你们,你们也制造不出来。
因为按照目前的技术水平,想要制造出一台先进的光刻机,就必须使用多个国家最先进的技术产品,阿斯麦的镜头就采用的是德国蔡司的产品;这些欧美企业倒也罢了,中国企业想要购买这些产品,可不是一般的难。
“不管怎么说,这些资料也给我们指明了一条全新的道路,只要能把这些东西吃透,我们就不会被欧美国家卡住脖子了!”或许是知道可控核聚变和昆式战机项目的原因,领导倒是对这份图纸显得信心满满。
“如果能吃透,那我们就能实现光刻机制造的百分百国产化了,我看到这里面所使用的元件也和阿斯麦、尼康、佳能的都不一样,不存在专利障碍的问题,现在要担心的就是我们的精密加工水平能不能达到标准了!”专家点头道,的确,想要按照这份图纸制造出性能优越的光刻机来非常不容易,可有了这份图纸,绝对能少走许多弯路。
“那个零件有疑问,就把疑问写出来,应该能得到满意的答复!”人家连微型可控核聚变反应堆都能制造出来,制造这些零件肯定不是问题,哎,真是可惜了,要是他能像提供微型可控核聚变反应堆的样品一样,也给我们提供一台光刻机的样
请收藏:https://m.bise.cc
(温馨提示:请关闭畅读或阅读模式,否则内容无法正常显示)